| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0364029(A) |
申请公布日期 |
1991.03.19 |
| 申请号 |
JP19890199391 |
申请日期 |
1989.08.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OYU SHIZUNORI;SUZUKI TADASHI;GOSHIMA HIDEKAZU;KASHU NOBUYOSHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/322;H01L21/336;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L27/092;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/11 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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