发明名称 METHOD FOR MAKING CONTACTS TO INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0181457(B1) 申请公布日期 1991.04.17
申请号 EP19850111314 申请日期 1985.09.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BROWN, KAREN HILL;MOORE, DAVID FRANK;VAN DER HOEVEN, BERNARD JACOB CORNELIS, JR.
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L39/24 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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