发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03102873(A) 申请公布日期 1991.04.30
申请号 JP19890239967 申请日期 1989.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAZAKI MASARU
分类号 H01L21/3205;H01L29/41;H01L29/47;H01L29/872 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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