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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03109735(A) 申请公布日期 1991.05.09
申请号 JP19890246547 申请日期 1989.09.25
申请人 SONY CORP 发明人 KANEKO TOMOYUKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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