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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03126253(A) 申请公布日期 1991.05.29
申请号 JP19890264414 申请日期 1989.10.11
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 NISHIMURA KENJI;AKAMATSU YOSHINORI;OGURA SADAO
分类号 H01L21/8249;H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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