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经营范围
发明名称
Wafer positioning mechanism using a notch formed on the wafer periphery
摘要
申请公布号
US5028200(A)
申请公布日期
1991.07.02
申请号
US19890452589
申请日期
1989.12.19
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
SHIMANE, KAZUO
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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