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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03179729(A)
申请公布日期
1991.08.05
申请号
JP19890317479
申请日期
1989.12.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
ETO HIROYUKI;MURAKAMI HIDEKAZU;NAKAGAWA KIYOKAZU;OSHIMA TAKU;NAKAMURA NOBUO;MIYAO MASANOBU
分类号
H01L29/205;H01L21/203;H01S5/00
主分类号
H01L29/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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