WAFER-SHAPED PARTICLE ATTRACTING DEVICE,申请号JP19890325372-传众专利搜索

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发明名称	WAFER-SHAPED PARTICLE ATTRACTING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH03186364(A)	申请公布日期	1991.08.14
申请号	JP19890325372	申请日期	1989.12.14
申请人	SHIMADZU CORP	发明人	NISHIMOTO HISAHIRO;KAIMOTO AKIRA
分类号	B03C3/00;H01L21/00	主分类号	B03C3/00
代理机构		代理人
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