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发明名称
TESTGLASWECHSLER ZUR OPTISCHEN MESSUNG VON SCHICHTEIGENSCHAFTEN IN VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN.
摘要
申请公布号
AT66742(T)
申请公布日期
1991.09.15
申请号
AT19860116845T
申请日期
1986.12.03
申请人
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
LEHNERT, WALTER;ZUELTZKE, WALTER
分类号
C23C14/54;G01B11/06;G01N21/00;G01N21/25;G01N21/84;(IPC1-7):G01N21/00
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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