发明名称 TESTGLASWECHSLER ZUR OPTISCHEN MESSUNG VON SCHICHTEIGENSCHAFTEN IN VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN.
摘要
申请公布号 AT66742(T) 申请公布日期 1991.09.15
申请号 AT19860116845T 申请日期 1986.12.03
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LEHNERT, WALTER;ZUELTZKE, WALTER
分类号 C23C14/54;G01B11/06;G01N21/00;G01N21/25;G01N21/84;(IPC1-7):G01N21/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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