发明名称 SILANE GAS SENSOR AND A METHOD OF MAKING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0139139(B1) 申请公布日期 1991.10.09
申请号 EP19840109649 申请日期 1984.08.14
申请人 NOHMI BOSAI KOGYO CO., LTD. 发明人 OKAYAMA, YOSHIAKI
分类号 G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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