| 发明名称 |
FORMATION OF SHALLOW JUNCTION AND SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING SHALLOW JUNCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910009030(B1) |
申请公布日期 |
1991.10.28 |
| 申请号 |
KR19880017673 |
申请日期 |
1988.12.23 |
| 申请人 |
FUJITSU CO.,LTD. |
发明人 |
TOKI MASHAHIKO;DAKEI MIJICO |
| 分类号 |
H01L21/225;H01L29/08;H01L29/36;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/68 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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