| 发明名称 |
THIN-FILM PRODUCING DEVICE BY CVD METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03247590(A) |
申请公布日期 |
1991.11.05 |
| 申请号 |
JP19900043395 |
申请日期 |
1990.02.23 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
OKIBAYASHI KATSUJI;TANAKA KOICHI;MIKAMI AKIYOSHI;TERADA KOSUKE;TANIGUCHI KOJI |
| 分类号 |
H05B33/10;C30B25/14;C30B29/48;H01L21/365 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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