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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABRICHTEN EINER TRENNKANTE.
摘要
申请公布号 DE3681747(D1) 申请公布日期 1991.11.07
申请号 DE19863681747 申请日期 1986.03.27
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP.;JAPAN SILICON CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHOJI, TSURUTA, NODA-SHI CHIBA-KEN, JP;HIDEAKI, MINAMI, KASUKABE-SHI SAITAMA-KEN, JP;YOSHINORI, OHHATA;SHINSUKE, SAKAI, NODA-SHI CHIBA-KEN, JP
分类号 B24B27/06;B24B53/00;B24B53/12;(IPC1-7):B24B53/00;B24B21/00 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
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