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发明名称 MANUFACTURE OF HEATER
摘要
申请公布号 JPH03276589(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900078257 申请日期 1990.03.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK 发明人 MATSUMURA KIMIHARU;SHIRAKAWA HIDEKAZU
分类号 H05B3/16;H01L21/027;H05B3/20 主分类号 H05B3/16
代理机构 代理人
主权项
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