发明名称 PROCESS FOR FABRICATING HIGH PERFORMANCE BICMOS CIRCUITS
摘要
申请公布号 US5079177(A) 申请公布日期 1992.01.07
申请号 US19890409545 申请日期 1989.09.19
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 LAGE, CRAIG S.;SMALL, JAMES E.;BASTANI, BAMDAD
分类号 H01L21/02;H01L21/033;H01L21/74;H01L21/8222;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/10 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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