发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0467671(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 JP19900180859 申请日期 1990.07.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MITSUI KENJI
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L27/112 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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