发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0483363(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900197034 申请日期 1990.07.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO TOSHIHIKO;HAYASHIDA TETSUYA
分类号 H01L23/02 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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