发明名称 GROOVE ISOLATION TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0484457(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900200313 申请日期 1990.07.27
申请人 NEC CORP 发明人 SUGIYAMA MITSUHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/8229;H01L27/102;H01L29/43 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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