光学元件的测定用夹具、偏心测定装置以及偏心测定方法

摘要

本发明提供即使驱动轴存在某种程度的垂直度误差也能够抑制轴心偏移的测定误差的测定用夹具。该测定用夹具能够在对光学元件的光学面的偏心进行测定时利用，具备：对光学元件进行载置的元件用支架、具有用于供元件用支架安装的开口的基板、分别被固定于基板并能够从与将基板设置于测定装置内的状态下的一方的测定对应的基板的第一方向和与使基板反转后的另一方的测定对应的基板的第二方向进行测定的至少三个第一基准球、将光学元件保持于元件用支架上的保持部以及在为了从第一方向以及第二方向进行测定而将基板设置于测定装置内时使第一基准球的球心与光学元件的一对光学面的顶点之间的中心在测定装置内的铅垂方向大致一致的高度调整部。

主权项

一种光学元件的测定用夹具，能够在对光学元件的光学面的偏心进行测定时利用，所述光学元件的测定用夹具具备：元件用支架，对光学元件进行载置；基板，具有用于供所述元件用支架安装的开口；至少三个第一基准球，分别被固定于所述基板，能够从与将所述基板设置于测定装置内的状态下的一方的测定对应的所述基板的第一方向、和与使所述基板反转后的另一方的测定对应的所述基板的第二方向进行测定；保持部，将光学元件保持于所述元件用支架上；以及高度调整部，在为了从所述第一方向以及第二方向进行测定而将所述基板设置于所述测定装置内时，使所述第一基准球的球心与光学元件的一对光学面的顶点之间的中心在所述测定装置内的铅垂方向大致一致。