发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04101417(A) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 JP19900219790 申请日期 1990.08.21
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SHIMIZU TORU
分类号 H01L23/52;H01L21/283;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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