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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04101417(A)
申请公布日期
1992.04.02
申请号
JP19900219790
申请日期
1990.08.21
申请人
SEIKO INSTR INC
发明人
SHIMIZU TORU
分类号
H01L23/52;H01L21/283;H01L21/3205
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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