发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH04105318(A) |
申请公布日期 |
1992.04.07 |
申请号 |
JP19900224027 |
申请日期 |
1990.08.23 |
申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSUU TOUHOKU EREKUTORONIKUSU:KK |
发明人 |
INOSE TAKAO;YOSHIDA YUKIO;OTA RYUSUKE |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|