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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR SURFACE INSPECTION AND DISTORTION MEASUREMENT UTILIZING REVERSE REFLECTION
摘要
申请公布号
JPH04105009(A)
申请公布日期
1992.04.07
申请号
JP19900224128
申请日期
1990.08.23
申请人
DEIFURAKUTO LTD
发明人
ROJIYAA REINORUZU;DONARUDO EE KURAAKU;TEIMOSHII AARU PURAIYAA
分类号
G01B11/30;G01N21/88
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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