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发明名称 VERTICAL HEATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH04162716(A) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900289029 申请日期 1990.10.26
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SANADA KENICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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