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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE OF MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH04162626(A)
申请公布日期
1992.06.08
申请号
JP19900288963
申请日期
1990.10.26
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAKAWA HIROSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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