MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE; ION IMPLANTATION APPARATUS; SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19900287019-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE; ION IMPLANTATION APPARATUS; SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04162618(A)	申请公布日期	1992.06.08
申请号	JP19900287019	申请日期	1990.10.26
申请人	HITACHI LTD	发明人	SUZUKI TADASHI;KAMATA TADASHI;HONDA MITSUHARU;KASHU NOBUYOSHI
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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