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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04165070(A) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 JP19900289399 申请日期 1990.10.26
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS KK 发明人 OZAWA FUKUJIROU
分类号 C23C14/46;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
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