| 发明名称 |
CHARGED CORPUSCLE BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04179116(A) |
申请公布日期 |
1992.06.25 |
| 申请号 |
JP19900304537 |
申请日期 |
1990.11.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA SHINJI;ICHIHASHI MIKIO;MATSUI HIRONOBU;SATO KAZUO;TODA AKIZO;KAWAMURA YOSHIO |
| 分类号 |
H01J37/06;H01J1/30;H01J37/12;H01J37/147;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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