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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MAMUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH04206815(A)
申请公布日期
1992.07.28
申请号
JP19900337481
申请日期
1990.11.30
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
AIHARA KAZUHIRO
分类号
C30B31/10;H01L21/22
主分类号
C30B31/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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