| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT DE NITRURE DE SILICIUM, DISPOSITIF DE MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE, ET APPLICATION DUDIT PROCEDE A LA FABRICATION DE CAPACITES HYPERFREQUENCES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2640078(B1) |
申请公布日期 |
1992.07.31 |
| 申请号 |
FR19880013780 |
申请日期 |
1988.10.20 |
| 申请人 |
ALCATEL TRANSMISSION FAISCEAUX H |
发明人 |
CONG CHANH BUI;CLAUDE BAZILLAIS |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/06;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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