| 发明名称 |
APPARATUS FOR DIRECTLY HEATING SUBSTRATE SUPPORT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04228576(A) |
申请公布日期 |
1992.08.18 |
| 申请号 |
JP19910074895 |
申请日期 |
1991.04.08 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
RAINAA GEEGENBUARUTO;BUERUNAA KACHIYUNAA;GERUHARUTO RORENTSU;HERUMUUTO SHIYUTORU |
| 分类号 |
C23C16/48;C23C14/54;C23C16/46;C23F4/00;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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