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发明名称 MANUFACTURE OF MICROCRYSTALLINE CUBIC SYSTEM BORON NITRIDE LAYER
摘要
申请公布号 JPH04228571(A) 申请公布日期 1992.08.18
申请号 JP19910099484 申请日期 1991.04.03
申请人 SIEMENS AG 发明人 HERUMUUTO TORAIHIERU;OSUWARUTO SHIYUPINDORAA;RAINAA BURAUN;BERUNHARUTO NOIRAITAA;TOOMASU KURUTSUKU
分类号 C23C16/34;C23C16/50 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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