| 发明名称 |
PRODUCTION OF AMORPHOUS THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04228568(A) |
申请公布日期 |
1992.08.18 |
| 申请号 |
JP19910136315 |
申请日期 |
1991.06.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAYAMA SHINJI;SHIIKI KAZUO;TSUKUDA YASUO;KUDO SANEHIRO |
| 分类号 |
C22C1/00;C23C14/14;C23C14/35 |
主分类号 |
C22C1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
