发明名称 IN-LINE EVAPORATOR USED FOR VACUUM EVAPORATOR
摘要
申请公布号 JPH04228563(A) 申请公布日期 1992.08.18
申请号 JP19910106243 申请日期 1991.05.13
申请人 LEYBOLD AG 发明人 YOTSUHEN HAINTSU;TOOMASU KURUUKU;KUREMENSU RIYUPUZAMU;HANSU KESURAA
分类号 C23C14/24;C23C14/26 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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