发明名称 MANUFACTURE OF CATHODE FOR CATHODE SPUTTERING BASED ON ULTRAPURE ALUMINUM
摘要
申请公布号 JPH04232263(A) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 JP19910168398 申请日期 1991.07.09
申请人 ALUM PECHINEY 发明人 JIYANNMARUKU RUGURUSHII;MARUKUUANRI MARUTEIKUU
分类号 C22F1/043;C23C14/34 主分类号 C22F1/043
代理机构 代理人
主权项
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