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发明名称 CVDGENRYOBUTSUSHITSUNOSEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JPH04235994(A) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 JP19910002160 申请日期 1991.01.11
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;TORI KEMIKARU KENKIYUUSHIYO:KK 发明人 IKEDA KOICHI;MAEDA MASAHIKO;ARITA MUTSUNOBU;KISO KOICHI;IIDA REIKO;TAKAMATSU YUKICHI
分类号 C07F7/28;C23C16/00;(IPC1-7):C07F7/28 主分类号 C07F7/28
代理机构 代理人
主权项
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