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经营范围
发明名称
CONTROL DEVICE FOR WAFER ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04266024(A)
申请公布日期
1992.09.22
申请号
JP19910027285
申请日期
1991.02.21
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAGAWA TADAYUKI;OKAZAKI KOJI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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