发明名称 CONTROL DEVICE FOR WAFER ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04266024(A) 申请公布日期 1992.09.22
申请号 JP19910027285 申请日期 1991.02.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAGAWA TADAYUKI;OKAZAKI KOJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址