发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04279026(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910003001 申请日期 1991.01.16
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IZAWA KOTARO
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/861 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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