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发明名称 THERMAL-STRESS MEASURING ELEMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04290245(A) 申请公布日期 1992.10.14
申请号 JP19910054533 申请日期 1991.03.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SATO TOMOHIKO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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