| 摘要 |
検査システムの視野全体に効果的に均一な照明プロファイルを提供するために、不均一な照明源から発生された複数の照明ビーム間の干渉を最小化する方法及びシステムが提供される。いくつかの例では、光のパルスビームは、それぞれのビームが、検査試料の表面で時間的に分離されるように、複数の照明ビームに分割される。いくつかの例では、不均一な照明源から発生された複数の照明ビームは、試料の表面上において空間的に分離された領域に投影される。領域毎に照明された対象のポイントオブジェクトは、時間遅延積分（ＴＤＩ）検出器の表面上に画像化される。画像は、対象のポイントオブジェクトの動作方向に沿った照明領域の相対位置が視野全体の照明効率の分布に影響を及ぼさないように積分される。【選択図】図１ |
