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发明名称 MINIMUM MAGNETIC FIELD-TYPE ELECTRON CYCLOTRON RESONANCING PLASMA WORKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04323368(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910119298 申请日期 1991.04.23
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 MIZUI JUNICHI
分类号 C23C14/35;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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