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发明名称 VERTICAL TYPE REDUCED PRESSURE VAPOR PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04343412(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910115167 申请日期 1991.05.21
申请人 NEC CORP 发明人 HARASHIMA KEIICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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