| 发明名称 |
SILICA-BASED COATING LIQUID FOR FORMATION OF COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04353579(A) |
申请公布日期 |
1992.12.08 |
| 申请号 |
JP19910129779 |
申请日期 |
1991.05.31 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
YAMAHO YUKA;ASANO MASAYA;TOMIKAWA MASAO |
| 分类号 |
C09D183/06;C09D183/04;H01L21/312 |
主分类号 |
C09D183/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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