| 发明名称 |
ION BEAM SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0525628(A) |
申请公布日期 |
1993.02.02 |
| 申请号 |
JP19910198233 |
申请日期 |
1991.07.15 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
TAGO AKIO;YANAGISAWA KEIICHI |
| 分类号 |
C23C14/46;C30B23/08;H01J37/30;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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