| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0525612(A) |
申请公布日期 |
1993.02.02 |
| 申请号 |
JP19910204658 |
申请日期 |
1991.07.22 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
HIROZAWA ATSUHIKO;UCHINO IKUO;MORI AKIRA;YAMAZAKI KUNIHIRO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/14;C23C14/22;C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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