发明名称 INSPECTING DEVICE FOR CIRCUIT SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0534372(A) 申请公布日期 1993.02.09
申请号 JP19910216511 申请日期 1991.08.02
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 KIMURA KIYOSHI
分类号 G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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