发明名称 JIG FOR PLATING WAFER
摘要
申请公布号 JPH0536698(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910191829 申请日期 1991.07.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MATSUMURA TAKASHI
分类号 H01L21/288;C25D7/12;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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