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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547847(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910200720 申请日期 1991.08.09
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 UCHIDA MASAMI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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