发明名称 AMORPHOUS BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH0562169(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910226269 申请日期 1991.09.06
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 SAKAKIBARA MASAHIKO
分类号 G11B5/72 主分类号 G11B5/72
代理机构 代理人
主权项
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