| 主权项 |
1﹒一种拓朴影像转移制程,系使用易反应的树脂PBS(聚丁烯枫)层于一衬底表面上所淀积铬氧化物层的上方,利用一适当的放射方式,譬如用一电子光束于与被转移影像相同大小轮廓的区域上方,使树脂层产生反应,又利用显像溶剂和洗濯法去除上述区域上的已反应树脂,然后用蚀刻法去除局部曝露的铬氧化物,最后将其余未反应的树脂去除;其特征在于使用一种含有乙二醇一乙基一醚(A物品)和乙酸异戊酯(B物品)混合溶剂,此溶剂可为显像溶剂亦可为洗濯溶剂,A产品于显像溶剂中占较小比例,于洗濯溶剂中占较大比例,而B产品于颇像溶剂中占较大比例于洗濯溶剂中占较小比例。7﹒依据申请专利范围第1项所述之拓朴影像转移制程,其特征在于作为显像溶剂的混合溶剂中,A物品占10%一40%,B物品占55%─85%,其余加入适量的添加剂及托持物使其达1000%。3﹒依据申请专利范围第1或第2项所述之拓朴影像转移制程,其特征在于洗濯溶剂混合溶剂中,A物品占70%一90%,B物品占5%─25%,其余加入适当的添加剂及托持物使其达100%。4﹒依据申请专利范围第1项所述之拓仆影像转移制程,其特征在于洗濯步骤于显像步骤结束稍前开始。图示简单说明图一至图四是本发明制程各主要步骤的透视图。 |
