发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH05141730(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910334207 申请日期 1991.11.22
申请人 NIPPON SPINDLE MFG CO LTD 发明人 MURAKAMI SHOICHI;SAKODA KENICHI
分类号 F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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